CVD，MOCVD專用氫氣發(fā)生器由超純水機(jī)制取二級(jí)水，并儲(chǔ)存至水箱備用。氫氣發(fā)生器缺水時(shí)，自動(dòng)供給至氫氣發(fā)生器。多臺(tái)氫氣發(fā)生器可串聯(lián)使用，通過(guò)串聯(lián)控制線由一臺(tái)發(fā)生器控制其他發(fā)生器，實(shí)現(xiàn)產(chǎn)氣均勻分配。(以兩臺(tái)設(shè)備為例控制圖如下)
CVD，MOCVD專用氫氣發(fā)生器產(chǎn)品特點(diǎn)：
1.配備純水系統(tǒng)，完成自來(lái)水進(jìn)水完成大流量的氫氣制備。
2.儀器的全部工作過(guò)程均由程序控制，自動(dòng)恒壓、恒流，通過(guò)串聯(lián)控制線，可實(shí)現(xiàn)多組并聯(lián)使用。
3.安全可靠：配有安全裝置，電解超純水制氫，無(wú)腐蝕、無(wú)污染，配有壓力控制，缺水自動(dòng)監(jiān)控，漏氣自動(dòng)檢測(cè)。
4.操作方便使用時(shí)只需打開電源開關(guān)即可產(chǎn)氫，使用后無(wú)需泄壓，直接關(guān)閉電源即可。可連續(xù)使用，也可間斷使用，產(chǎn)氫量穩(wěn)定不衰減。
5.使用固態(tài)電解質(zhì)(PEM)法產(chǎn)生氫氣，以超純凈水原料，以固體聚合物為電解質(zhì)，貴金屬做電極有效的除濕裝置，降低了原始濕度，純度穩(wěn)定。
1.氫氣純度： 99.9999-99.99999%
2.氫氣流量：1L-17L/min
3.輸出壓力：0-80psi(約0.5MPa)
4.壓力穩(wěn)定性：< 0.001MPa
5.供電電源：220V±10% 50HZ
6.消耗功率：8kw(HYDROGEN-17L)
7.純水需求：>2MΩ&1L/h
8.氫氣容積：<20L(HYDROGEN-17L)
9.環(huán)境溫度：1-40℃
10.相對(duì)濕度：<85%
11.海拔高度：<2000米
12.外形尺寸：80x90x100(WxDxH cm)(HYDROGEN-17L)
13.凈重：約200kg(HYDROGEN-17L)
CVD，MOCVD專用氫氣發(fā)生器
MOCVD是一種新型的氣相外延生長(zhǎng)技術(shù)，它是在氣相外延生長(zhǎng)(VPE)的基礎(chǔ)上發(fā)展起來(lái)的，是以Ⅲ族、Ⅱ族元素的有機(jī)化合物和V、Ⅵ族元素的氫化物等作為晶體生長(zhǎng)源材料，以熱分解反應(yīng)方式在襯底上進(jìn)行氣相外延，生長(zhǎng)各種Ⅲ-V族、Ⅱ-Ⅵ族化合物半導(dǎo)體以及它們的多元固溶體的薄層單晶材料。
氫氣發(fā)生器在MOCVD中的廣泛應(yīng)用：
在MOCVD中，氫氣可以擔(dān)當(dāng)載氣，將III(II)金屬有機(jī)物和V(VI)族氫化物以及摻雜源攜帶運(yùn)輸?shù)椒磻?yīng)室內(nèi)，為化學(xué)沉積反應(yīng)和薄膜生長(zhǎng)提供基礎(chǔ)，MOCVD要求氫氣純度≥99.999%(≥5N)，進(jìn)口壓力為4-7bar，而氫氣發(fā)生器所產(chǎn)氫氣可以符合這一領(lǐng)域的用氣需求。同時(shí)，氫氣純度穩(wěn)定不變，減少了氫氣純度波動(dòng)對(duì)設(shè)備的影響。
除此之外，設(shè)備操作便捷，保障氫氣供應(yīng)連續(xù)不間斷，用戶無(wú)需擔(dān)心氫氣用完，也無(wú)需和高壓氣體鋼瓶接觸，發(fā)生器自動(dòng)運(yùn)行，無(wú)需額外人工操作；發(fā)生器自動(dòng)偵測(cè)自身工作狀態(tài)和錯(cuò)誤，一旦偵測(cè)異常，發(fā)生器報(bào)警。
