半導(dǎo)體專用氫氣發(fā)生器是一種被廣泛認(rèn)可和接受的氫氣鋼瓶替代方案。一臺(tái)氫氣發(fā)生器可以持續(xù)地提供高純度的氫氣來(lái)滿足氣相色譜儀工作時(shí)的載氣需求，并且投資成本收回周期較短。氫氣發(fā)生器可以提供純度高達(dá)99.9999%的氫氣來(lái)用作載氣，或者用作燃燒氣來(lái)支持某些檢測(cè)器的運(yùn)行。
半導(dǎo)體專用氫氣發(fā)生器
使用半導(dǎo)體專用氫氣發(fā)生器時(shí)，首先需要用原料氫置換系統(tǒng)，從閥3放空，待系統(tǒng)內(nèi)的高純氮置換干凈后，根據(jù)原料氫中的含氫量和所需高純氫量，參照表一數(shù)據(jù)，來(lái)選定操作溫度、操作壓力和馳放氣量，然后再通電加熱鈀管，從閥2流出高純氫。
調(diào)溫方法可以根據(jù)隨機(jī)所帶的說(shuō)明書進(jìn)行溫度設(shè)定。從鈀擴(kuò)散制得的高純氫到實(shí)際獲得的高純氫，還需要置換閥2前管線的一段時(shí)間，通常約需2~3小時(shí)。由于設(shè)備在出廠前都要經(jīng)過(guò)產(chǎn)品質(zhì)量檢驗(yàn)，因此閥1和閥3管線內(nèi)充有高純氮，閥2到管線前那段管線充有高純氮。當(dāng)設(shè)備停止使用時(shí)，應(yīng)先停電，待裝置冷卻后各閥門都關(guān)閉再停氣，以便在下次使用時(shí)減少置換系統(tǒng)的時(shí)間。
一般來(lái)說(shuō)，在鈀管厚度一定的情況下，進(jìn)出口壓力差越大，溫度越高，則氫的滲透量越大。但平均壓力以8~3公斤/平方厘米為宜，操作溫度為300~400℃。電壓也應(yīng)保持在2.3V左右。
半導(dǎo)體專用氫氣發(fā)生器通過(guò)壓縮機(jī)對(duì)空氣或其他氣體進(jìn)行壓縮，儲(chǔ)存在儲(chǔ)氣罐中，以便使用。它主要由壓縮機(jī)、儲(chǔ)氣罐、過(guò)濾器、干燥室等部分組成。具有電解面積大、池溫低、性能好、產(chǎn)氣量大、純度高等優(yōu)點(diǎn)。
