半導(dǎo)體專用氫氣發(fā)生器的工作原理如下：電解池在設(shè)備通電后產(chǎn)生氫氣和氧氣，氫氣進(jìn)入氫/水分離器，氧氣則排入大氣。氫/水分離器將氫氣與水分離，氫氣經(jīng)過干燥器除濕后，經(jīng)過穩(wěn)壓閥、調(diào)節(jié)閥調(diào)整到額定壓力(0.02～0.45Mpa可調(diào))由出口輸出。電解池的產(chǎn)氫壓力由傳感器控制在0.45Mpa左右。當(dāng)壓力達(dá)到設(shè)定值時(shí)，電解池電源供應(yīng)切斷；壓力下降，低于設(shè)定值時(shí)電源恢復(fù)供電。
半導(dǎo)體專用氫氣發(fā)生器的結(jié)構(gòu)優(yōu)勢(shì)包括：采用英國(guó)Peculiar研發(fā)離子膜技術(shù)；采用分子篩耐用干燥劑，以產(chǎn)生純度為99.9999%的氫氣，確保結(jié)果的重現(xiàn)性；采用英國(guó)Peculiar硅橡膠圈(含硫量低)，有效提高氣體質(zhì)量，保證GC基線平穩(wěn)；自動(dòng)水位控制，當(dāng)缺水狀態(tài)時(shí)，自動(dòng)停機(jī)，自動(dòng)補(bǔ)水功能Hydrogen-500(S)水量低于15%時(shí)，由外置水箱自動(dòng)補(bǔ)水，無(wú)需停機(jī)加水。有效保護(hù)電解池，延長(zhǎng)使用壽命；壓力及流量均采用一體化微電腦的控制。
在操作半導(dǎo)體專用氫氣發(fā)生器時(shí)需要注意一些常見問題及解決方法。例如，當(dāng)壓力表數(shù)值小于設(shè)定值或?yàn)榱闱逸敵隽髁繑?shù)值大于實(shí)際用氣流量值時(shí)，可能是干燥管漏氣。此時(shí)需要用肥皂水試下干燥管兩端接口是否有氣泡，有汽包說(shuō)明干燥管漏氣，此時(shí)擰下干燥管重新裝配或更換密封圈或更換干燥管。如若干燥管不漏氣則用封堵把氫氣輸出口堵上讓儀器自檢，自檢結(jié)果儀器漏氣則打開機(jī)殼檢查儀器內(nèi)部氣路各個(gè)接口是否有漏氣點(diǎn)，檢查不出來(lái)建議供應(yīng)商技術(shù)部以獲得，自檢不漏氣則檢查儀器以后的氣路部分找出漏氣點(diǎn)。
此外，如果干燥管有水，可能是硅膠質(zhì)量差或沒再生，此時(shí)需要更換好的硅膠或烘烤時(shí)間加長(zhǎng)一般在120攝氏度12小時(shí)。如果氣量不足，可能是儀器漏氣或電解液濃度低。此時(shí)需要儀器自檢看是否存在漏氣，添加電解質(zhì)(一般為氫氧化鉀)。如果過壓，可能是氫氣發(fā)生器壓力超出設(shè)定值且數(shù)碼顯示表數(shù)字不停地變動(dòng)和閃跳。此時(shí)需要調(diào)節(jié)壓力控制裝置或更換壓力控制裝置。
半導(dǎo)體專用氫氣發(fā)生器
