一、引言
化學(xué)氣相沉積(Chemical Vapor Deposition，CVD)和金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積(Metal Organic Chemical Vapor Deposition，MOCVD)是兩種在半導(dǎo)體制造中廣泛應(yīng)用的薄膜沉積技術(shù)。這兩種技術(shù)都需要使用高純度的氫氣作為反應(yīng)氣體。因此，CVD，MOCVD專(zhuān)用氫氣發(fā)生器的操作對(duì)于保證薄膜質(zhì)量和設(shè)備安全至關(guān)重要。
二、儀器簡(jiǎn)介
CVD，MOCVD專(zhuān)用氫氣發(fā)生器是一種能夠產(chǎn)生高純度氫氣的設(shè)備，主要用于半導(dǎo)體制造中的CVD和MOCVD過(guò)程。該設(shè)備通常采用電解水或天然氣重整的方式產(chǎn)生氫氣，然后通過(guò)一系列的凈化和壓縮步驟，得到滿(mǎn)足半導(dǎo)體制造需求的高純度氫氣。
CVD，MOCVD專(zhuān)用氫氣發(fā)生器
三、操作步驟
1.開(kāi)機(jī)檢查：在啟動(dòng)氫氣發(fā)生器之前，應(yīng)先進(jìn)行開(kāi)機(jī)檢查，包括檢查設(shè)備的電源連接是否正常，設(shè)備的冷卻系統(tǒng)是否工作正常，設(shè)備的氣體供應(yīng)系統(tǒng)是否密封良好等。
2.啟動(dòng)設(shè)備：在確認(rèn)設(shè)備狀態(tài)正常后，可以啟動(dòng)氫氣發(fā)生器。首先打開(kāi)電源開(kāi)關(guān)，然后按照設(shè)備的啟動(dòng)順序，依次啟動(dòng)電解水系統(tǒng)、天然氣重整系統(tǒng)、凈化系統(tǒng)和壓縮系統(tǒng)。
3.調(diào)整參數(shù)：在設(shè)備啟動(dòng)并運(yùn)行穩(wěn)定后，可以根據(jù)實(shí)際需求調(diào)整氫氣的產(chǎn)生量和純度。一般來(lái)說(shuō)，可以通過(guò)調(diào)整電解電流、重整溫度、凈化壓力和壓縮比等參數(shù)，來(lái)控制氫氣的產(chǎn)生量和純度。
4.監(jiān)控設(shè)備：在設(shè)備運(yùn)行過(guò)程中，應(yīng)定期監(jiān)控設(shè)備的運(yùn)行狀態(tài)，包括氫氣的產(chǎn)生量和純度、設(shè)備的運(yùn)行溫度和壓力、設(shè)備的電流和電壓等參數(shù)。如果發(fā)現(xiàn)設(shè)備運(yùn)行異常，應(yīng)立即停機(jī)檢查。
5.關(guān)機(jī)清理：在設(shè)備使用結(jié)束后，應(yīng)先關(guān)閉電源，然后進(jìn)行設(shè)備的清理和維護(hù)。清理和維護(hù)的內(nèi)容包括清理設(shè)備的電解槽和重整爐、更換設(shè)備的過(guò)濾網(wǎng)和催化劑、檢查設(shè)備的密封圈和閥門(mén)等。
四、操作注意事項(xiàng)
1.在操作氫氣發(fā)生器時(shí)，應(yīng)遵守設(shè)備的使用說(shuō)明書(shū)，避免誤操作導(dǎo)致設(shè)備損壞或人身傷害。
2.在設(shè)備運(yùn)行過(guò)程中，應(yīng)避免接觸氫氣，因?yàn)闅錃饩哂幸兹家妆奶匦浴Ｈ绻仨毥佑|氫氣，應(yīng)使用防爆設(shè)備和個(gè)人防護(hù)裝備。
3.在設(shè)備運(yùn)行過(guò)程中，應(yīng)定期進(jìn)行設(shè)備的維護(hù)和檢查，以確保設(shè)備的正常運(yùn)行和使用壽命。
4.在設(shè)備使用結(jié)束后，應(yīng)及時(shí)關(guān)閉電源和氣源，避免浪費(fèi)能源和造成安全隱患。
