從結(jié)構(gòu)上看，
半導(dǎo)體專(zhuān)用氫氣發(fā)生器是由以下幾個(gè)部件構(gòu)成的，分別是電解池、純水箱、氫/水分離器、收集器、干燥器、傳感器、壓力調(diào)節(jié)閥、開(kāi)關(guān)電源，發(fā)生器通電后，電解池陰極產(chǎn)氫氣，陽(yáng)極產(chǎn)氧氣，氫氣進(jìn)入氫/水分離器，氧氣排入大氣。氫/水分離器將氫氣和水分離，氫氣進(jìn)入干燥器除濕后，經(jīng)穩(wěn)壓閥、調(diào)節(jié)閥調(diào)整到額定壓力(0.02～0.45Mpa可調(diào))由出口輸出。電解池的產(chǎn)氫壓力由傳感器控制在0.45Mpa左右，當(dāng)壓力達(dá)到設(shè)定值時(shí)，電解池電源供應(yīng)切斷；壓力下降，低于設(shè)定值時(shí)電源恢復(fù)供電。
作為一種理想的氣瓶替代品，半導(dǎo)體專(zhuān)用氫氣發(fā)生器可提供一定純度的氫氣，消除氣體質(zhì)量變化的風(fēng)險(xiǎn)，發(fā)生器一旦安裝就不需要離開(kāi)實(shí)驗(yàn)室，為實(shí)驗(yàn)室應(yīng)用提供氣體，所有維護(hù)都在實(shí)驗(yàn)室進(jìn)行。該發(fā)生器還減少了您實(shí)驗(yàn)室的碳足跡，因?yàn)闊o(wú)需卡車(chē)運(yùn)送更換鋼瓶和移除空鋼瓶。在使用中，如果出現(xiàn)內(nèi)部泄漏的情況，半導(dǎo)體專(zhuān)用氫氣發(fā)生器將停止氣體生產(chǎn)并通過(guò)人機(jī)界面觸摸屏提醒實(shí)驗(yàn)室人員，這將發(fā)出警告和聲音警報(bào)。如果發(fā)生器外部存在泄漏，或超過(guò)其容量20分鐘，發(fā)生器將關(guān)閉以防止實(shí)驗(yàn)室環(huán)境或提供的儀器中積聚氫氣。如果內(nèi)部壓力超過(guò)120psi，系統(tǒng)也會(huì)關(guān)閉，非常智能。從以上可以看出，半導(dǎo)體專(zhuān)用氫氣發(fā)生器的安全性非常高。
